创新非破坏性检测方案，引领第三代半导体检测市场

市场需求激增与挑战

随着全球环保意识的提升和电动车政策目标的推动，第三代半导体的需求急剧增长，尤其是用于电动汽车的SiC功率半导体组件，其供需缺口显著。SiC芯片的可靠性及性能依赖于高质量的衬底材料，然而，由于SiC生长速度较慢，传统的破坏性KOH蚀刻检测方式成为高昂成本的源头。

JadeSiC-NK：非破坏性检测革新

蔚华科技及其子公司南方科技共同推出业界首个非破坏性SiC缺陷检测系统——JadeSiC-NK。该系统利用先进的非线性光学技术，对SiC衬底进行全面扫描，精准识别内部致命性晶体缺陷，从而替代成本高昂的KOH蚀刻检测，显著提升生产效率并优化工艺流程。假设每个SiC晶锭需要蚀刻两片衬底，JadeSiC-NK可为拥有100个长晶炉的衬底厂节省每年约5600万元的成本。

技术亮点与效益

• 非线性光学检测：JadeSiC-NK系统采用的非线性光学技术，不仅能检测表面非晶体缺陷，还能深入衬底表面至特定深度，提供晶体缺陷密度及其分布状况，为客户提供全面的衬底质量评估，确保后续组件的质量与效能稳定。

• 成本与效率优化：相较于传统的KOH蚀刻方式，JadeSiC-NK系统能大幅减少检测时间和衬底成本。对于每月四个晶锭产出的长晶炉，每个晶锭能省下约600美元的衬底成本。以此计算，100个长晶炉每年可节省约56万元人民币。

行业影响与专家观点

• 技术创新与产业链发展：阳明交通大学光电工程学系讲座教授郭浩中指出，JadeSiC-NK系统的应用有望突破第三代半导体产业的量产和技术瓶颈，推动整个产业链的快速发展。期待此系统能成为非线性光学技术领域的领航品牌，促进市场持续创新。

• 蔚华科技的战略转型：蔚华科技总经理杨燿州表示，公司正从设备代理转向自有产品的开发，以应对市场变化并寻求更稳定的盈利模式。通过并购南方科技，蔚华加速了在光学检测领域的布局，特别是聚焦在第三代半导体材料缺陷检测上，这一战略调整为公司、员工及投资者带来了新的发展机遇。

结语

蔚华科技与南方科技的合作，不仅为第三代半导体检测市场带来了创新性的非破坏性检测方案，还展示了在光学检测领域内的技术实力与前瞻视野。这一合作不仅降低了生产成本、提高了产能效率，还为全球半导体产业提供了关键技术支持，有望在未来蓬勃发展的第三代半导体市场中扮演重要角色。