合肥1月19日讯 —— 由中国科学技术大学光电子科学与技术安徽省重点实验室微纳光学与技术课题组的专家王沛教授和鲁拥华副教授主导的研究，近期在精密位移光学感应领域取得了突破性进展。团队创新设计了一款光学超表面，成功地将二维平面的移动信息转化为双通道偏光干涉的光强度变化，实现了对平面内任意轨迹的长距离、高精度非接触感应。这一成果已在《科学·进展》杂志上进行了在线发布。

在光学精密测量领域，纳米级长度与位移测量是关键的基础研究之一，尤其在半导体组件的精确对齐与跟踪过程中扮演着重要角色。尽管传统光学干涉仪在测量精度上可达纳米乃至亚纳米级别，但其系统复杂且易受环境因素影响。为解决这些问题，课题组在先前研究基础上，引入了一项基于超表面光场调控的二维位移精密测量新技术。实验结果表明，该技术的测量精度达到了惊人的0.3纳米，而测量范围则扩展至200微米以上。

研究团队指出，此技术的一大亮点在于其能同时获取二维位移信息，从而高效追踪平面内的复杂运动。这项研究不仅拓宽了光学超表面的应用领域，还显著提高了精密位移光学传感技术的稳定性和集成度，展示了超表面光场调控在优化传统光学技术方面的潜力。